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双磨片
Etched Wafer 、 Lapped Wafer
双磨片
产品参数
直径: 76.2—150mm

厚度180-780um 厚度偏差±5um

型号: N/P

晶向: <111> <100> <110>

掺杂剂 / 电阻率范围 (Ohm-cm):

OISF (#/cm2):0

RRG (%) ≤10%@ 6.00mm

ORG (%) ≤10%@ 6.00mm

Oxygen (ppma):15-40ppma OLD ASTM

EPD (#/cm2):0

Carbon (ppma) ≤0.99

Boron (atoms/cm3) ≤3 E+14

Life Time : ≥50μsec

Bow (μm):<20um

Warp:<20um

TTV<5um

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