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上海合晶硅材料股份有限公司
外延是通过化学气相沉积的方式在抛光片上生长一层或多层,且在掺杂类型、电阻率、厚度和晶格结构等产品参数都符合特定器件要求的新硅单晶层,具极佳的均匀性及极低的缺陷密度。
上海合晶的半导体硅外延片之所以受到国内外客户的广泛认可、市场份额全球领先,主要是因为产品的一体化生产,同时掌握晶体成长、硅片成型与外延生长三大工艺技术,相辅相成,互相补强,以达到外延最高质量。抛光片的技术对本公司的竞争力影响甚巨。
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